| 发明名称 | 基板冷却装置 | ||
| 摘要 | 一种基板冷却装置；该基板冷却装置即使处理大型基板，依然具有良好的安全性之同时，可达到生产量之提高。为达成上述目的，基板冷却装置25具备以下之部份：滚子运送控制机构5，作为运送通道，用以将基板G沿一方向而加以运送；冷却机构7，于机壳6内，使得藉由滚子运送控制机构5而进行滚子运送的基板G接触冷却媒体，而冷却该基板G。 | ||
| 申请公布号 | TWI323483 | 申请公布日期 | 2010.04.11 |
| 申请号 | TW095147441 | 申请日期 | 2006.12.18 |
| 申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 相马康孝;坂井光广;和田宪雄;八寻俊一 |
| 分类号 | H01L21/027 | 主分类号 | H01L21/027 |
| 代理机构 | 代理人 | 周良谋;周良吉 | |
| 主权项 | 一种基板冷却装置，用以冷却基板；其特征在于具备：运送通道，用以将基板沿一方向运送；机壳，用以收纳运送经过该运送通道的基板；及冷却机构，于该机壳内，将冷却流体供应到基板以冷却基板。 | ||
| 地址 | 日本 | ||