图案检查装置

摘要

本发明的课题是针对于提供一种将藉由透射照明被形成带状工件的图案加以摄影并加以检查的装置，即使有宽广工件或产生弯曲或凹凸的工件，也可将检查工件的部位维持在摄影装置的焦点深度内的图案检查装置。本发明用以解决手段是具备：朝带状工件的宽度方向给予拉力的工件抗拉机构，及将藉由工件抗拉机构给予拉力的带状工件加以吸附保持的工作台，该工作台是隔着因应于需检查的图案长度的间隔设置复数于位在带状工件两侧的工件抗拉机构之间。

主权项

一种图案检查装置，属于将形成于薄膜状的带状工件的图案，藉由透射照明光进行摄影，并将该图案的外观加以检查的图案检查装置，其特征为：具备：朝上述带状工件的宽度方向给予拉力的工件抗拉机构，及将上述带状工件在图案被摄影之际加以吸附保持，而在搬运之际，藉由吹出空气使之浮起的工作台；上述工作台是长边对应于带状工件的宽度而短边对应于长度方向的长方形状，设于检查带状工件的部位的搬运方向上游侧与下游侧，而从工作台与工作台之间对于带状工件照射透射照射光。