| 摘要 |
一种用于低温制程之具有传送功能的真空装置，可传送一加工物件沿着一移送方向前进，并包含：一基座及一传动机构。该基座包括一个界定出一真空腔室的腔壁，而该传动机构包括一个架设在腔壁外的动力源、数支可驱动加工物件前进并位于真空腔室内的从动轴、一个架设腔壁之一架设孔上并与该动力源动力衔接的动力主轴，以及一个位在该真空腔室内并动力衔接该等从动轴及动力主轴的动力衔接单元。前述设计由于只需在腔壁上设置单个架设孔来供动力主轴安装，故该项设计除了适合应用在光电产业之低温制程上外，亦具有组装简单及降低制造成本等功效。 |
