制造鳍状电晶体之方法

摘要

一种鳍状电晶体之制造方法，包含使用隔离遮罩图案，以在基板上方图密化一第一垫层；使用该隔离遮罩和第一垫层蚀刻该基板而以形成沟渠；使用绝缘材料填满该沟渠而形成隔离结构；使用一种气体，其绝缘材料如对于第一垫层具有高选择比，以蚀刻在沟渠之中的隔离结构，如此而形成鳍状结构；在该鳍状结构之上，形成闸极绝缘层；及在该闸极绝缘层之上，形成导电层。

主权项

一种鳍状电晶体之制造方法，该方法包含：使用隔离遮罩，在基板上方，图案化一第一垫层；使用该隔离遮罩和该第一垫层，以蚀刻该基板而形成沟渠；使用绝缘材料以填满该沟渠，而形成隔离结构；使用一种气体，其相对于绝缘材料及第一垫层而言具有高选择比，藉以蚀刻在沟渠中的隔离结构，如此形成鳍状结构；在该鳍状结构之上方，形成闸极绝缘层；及在该闸极绝缘层之上方，形成导电层。