发明名称 |
振动波检测方法及装置 |
摘要 |
本发明提供一种可赋予任意复数负载之振动波检测方法及装置。本发明之振动波检测方法,其系将振动波传播于各自对不同之特定频率共振之复数个共振梁51a~5nb,以设在共振梁51a~5nb各个之压致电阻61a~6nb检测共振梁51a~5nb各个对上述频率的共振所伴随之电性输出者,以复数个共振梁51a~5nb之压致电阻61a~6nb共通之频率对各个共振梁51a~5nb施加相位不同之交流偏压电压,合成复数个共振梁51a~5nb之压致电阻61a~6nb之输出。再者,于施加该交流偏压电压之复数个共振梁51a~5nb中的至少1个共振梁,上述交流偏压电压之振幅系不同。 |
申请公布号 |
TWI323340 |
申请公布日期 |
2010.04.11 |
申请号 |
TW096116915 |
申请日期 |
2007.05.11 |
申请人 |
国立大学法人东京大学 THE UNIVERSITY OF TOKYO 日本;东京威力科创股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED 日本 |
发明人 |
安藤繁;池内直树 |
分类号 |
G01H11/08 |
主分类号 |
G01H11/08 |
代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
主权项 |
一种振动波检测方法,其特征在于:其系将振动波传播于各自对不同之特定频率共振之复数个共振器,以设在各上述共振器之检测器检测各上述共振器之对上述频率之共振所伴随之电性输出者,且以上述复数个共振器之检测器共通之频率对每个共振器施加相位不同之交流偏压电压;合成上述复数个共振器之检测器之输出。 |
地址 |
日本;日本 |