发明名称 防护胶膜框架
摘要 本发明提供贴附于光罩后很容易即可剥离之防护胶膜框架、及利用该防护胶膜框架之照相平版印刷用防护胶膜组件。本发明之防护胶膜框架之特征为,框架之长边长度为500mm以上之大型防护胶膜组件时,角部(12)之50mm以内之外侧面至少设有1处凹部(13)。此外,防护胶膜框架(11)之外侧面整体配设5处以上之凹部(13),凹部(13)为直径1.0mm以上、3.0mm以下、深度0.5mm以上之未贯穿之圆孔。其次,利用此种防护胶膜框架来构成防护胶膜组件。
申请公布号 TWI323385 申请公布日期 2010.04.11
申请号 TW095106578 申请日期 2006.02.27
申请人 信越化学工业股份有限公司 发明人 关原一敏
分类号 G03F1/14 主分类号 G03F1/14
代理机构 代理人 周良谋;周良吉
主权项 一种防护胶膜框架,其使用于框架的长边的长度在500mm以上的大型防护胶膜组件中,其特征为:在外侧面上设置5个以上的凹部,该凹部系由直径1mm以上3.0mm以下、深度0.5mm以上的非贯通式圆孔所构成,且该等凹部其中至少一个设置在距离角部50mm以内的外侧面上。
地址 日本