六（单烃基胺基）二矽烷类及其制备方法

摘要

提供一种不含氯之矽烷化合物类，该矽烷化合物类在氮化矽薄膜和氧氮化矽薄膜之例子中具有于低温下极佳的成膜特性，和极佳加工特性。同时，提供一种制备这些矽烷化合物之方法。六(单烃基胺基)二矽烷类具通式(1)((R)HN)3-Si-Si-(NH(R))3 (1)其中每个R分别表示C1至C4的烃基。这些二矽烷类可藉由将溶于有机溶剂中之六氯二矽烷和至少六倍莫耳的单烃基胺RNH2(其中R表示C1至C4的烃基)反应合成。

主权项

一种具有通式(1)之六(单烃基胺基)二矽烷类化合物，((R)HN)3-Si-Si-(NH(R))3 (1)其中R分别表示C1至C4的烃基。