具直立镀覆面及动力源控制加热线之化学气相薄膜沈积设备

摘要

本发明系有关于一种具直立镀覆面及动力源控制加热线之化学气相薄膜沈积设备，其具有一腔体，腔体内设置有至少一旋转电极、复数条热线、以及一旋转动力源。欲镀膜之基材系垂直设置于本发明之腔体内，且透过热线针对基材之至少一侧镀膜面进行镀覆，每条热线至少其中一端系设置在旋转电极上。当热线因温度变化而伸长时，可由旋转电极旋转拉撑，保持每一热线之特定张力不变，避免热线松弛而受腔体内气流吹拂，因而左右扰动影响镀覆效果，甚或碰触基材而使基材破裂。

主权项

一种具直立镀覆面及动力源控制加热线之化学气相薄膜沈积设备，包括：一腔体，其系包括一内容空间、及一内承置面，该内承置面上系直立设置有至少一基材；至少二电极，其系组设于该内容空间内，该至少二电极包括至少一旋转电极；复数条热线，其两端系分别设置于该至少二电极上，并相互平行形成一直立镀覆面，该等热线系分别具有一特定张力，并与该至少一基材间隔一特定距离；以及一旋转动力源，其系促使该至少一旋转电极朝特定方向旋转，进而保持该等热线之特定张力不变。