| 摘要 |
1. Печь для термообработки, включающая термоизолированный объем, средства нагрева и средства поддержания и/или ведения температуры, отличающаяся тем, что содержит одну или несколько съемных помещаемых в высокотемпературную область герметичных кассет для обрабатываемого материала или изделия, причем каждая кассета снабжена средствами для соединения ее объема с одним или несколькими внешними устройствами, находящимися за пределами высокотемпературной области печи. ! 2. Печь по п.1, отличающаяся тем, что внешним устройством является источник паров материала. ! 3. Печь по п.2, отличающаяся тем, что источник паров материала выполнен в виде герметичного соединяемого с кассетой объема для испаряемого материала с возможностью независимого задания или ведения его температуры и температуры трубопровода, соединяющего источник паров с объемом кассеты, причем как в области значений температуры ниже, чем в кассете, так и выше нее. ! 4. Печь по п.1, отличающаяся тем, что внешним устройством является герметичный соединяемый с кассетой объем для сорбента. ! 5. Печь по п.4, отличающаяся тем, что внешнее устройство снабжено средствами для восстановления поглотительной способности сорбента. ! 6. Печь по п.1, отличающаяся тем, что внешним устройством является система откачки. ! 7. Печь по п.6, отличающаяся тем, что система откачки содержит ловушку для паров металла и/или других конденсирующихся при нормальных условиях веществ. ! 8. Печь по п.7, отличающаяся тем, что ловушка содержит охлаждаемый адсорбент. ! 9. Печь по п.8, отличающаяся тем, что адсорбент выполнен из металла более тугоплавкого, чем металл, пары которого подают в кассету, с воз |
