发明名称 PLASMA REACTOR FOR ELIMINATING WASTE GASES AND GAS SCRUBBER USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100951631(B1) 申请公布日期 2010.04.09
申请号 KR20080065326 申请日期 2008.07.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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