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发明名称
Improvements in or relating to the production of semiconductor material
摘要
申请公布号
GB1064316(A)
申请公布日期
1967.04.05
申请号
GB19640012255
申请日期
1964.03.23
申请人
SIEMENS-SCHUCKERTWERKE AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
分类号
C23C16/44
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
地址
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