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发明名称
摘要
申请公布号 DE1225304(C2) 申请公布日期 1967.04.20
申请号 DE1961T021124 申请日期 1961.11.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/22;H01L29/00;H01L29/73 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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