| 发明名称 |
Sensor, Vorrichtung mit einem Sensor, Verfahren zum Detektieren einer defekten Vorrichtung und Verwendung eines Sensors |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE102007003382(B4) |
申请公布日期 |
2010.04.08 |
| 申请号 |
DE20071003382 |
申请日期 |
2007.01.23 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
RIEGER, GOTTHARD;WECKER, JOACHIM |
| 分类号 |
G01D5/16;G01R33/09;G11B5/39;H01L43/10 |
主分类号 |
G01D5/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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