METHOD FOR CHEMICALLY TREATING A SUBSTRATE

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur chemischen Behandlung eines eine Unterseitenfläche 12, Oberseitenfläche 22 und Seitenflächen 14, 16, 18, 20 aufweisenden scheibenförmigen Substrats 10 durch Kontaktieren eines flüssigen chemisch wirksamen Prozessmediums 26 mit zumindest der Unterseitenfläche des Substrats, wobei das Substrat relativ zum Prozessmedium bei gleichzeitiger Ausbildung einer Tripellinie zwischen Substrat, dem Substratmedium und diese umgebender Atmosphäre bewegt wird. Um insbesondere in den Seitenflächen vorhandene Fehler chemisch zu entfernen, wird vorgeschlagen, dass die Relativbewegung unter Vermeidung eines Kontaktierens des Prozessmediums mit der Oberseitenfläche des Substrats durchgeführt wird, wobei die Tripellinie in Bezug auf die Relativbewegung zwischen dem Substrat und dem Prozessmedium auf gewünschter Höhe an prozessmediumströmungsseitig abgewandter Seitenfläche ausgebildet wird. Dabei kann die Atmosphäre in Bezug auf Partialdrücke von in dem Prozessmedium vorhandenen Komponenten derart eingestellt werden, dass die Oberseitenfläche hydrophobe Eigenschaften bewahrt.