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发明名称 Verfahren und Gerät zum Abbilden eines sich bewegenden Objekts
摘要
申请公布号 DE112007003452(T5) 申请公布日期 2010.04.08
申请号 DE20071103452T 申请日期 2007.04.18
申请人 OPTICON INC.;OPTOELECTRONICS CO. LTD. 发明人 HOSOI, KAZUKUNI;TAKAHASHI, TOHRU;FUKUBA, KEN;YAMAZAKI, TOKUMA;SAMPEI, TAKASHI;KOMI, SATOSHI;EBARA, NOBUHIRO
分类号 G01R31/26;H01L21/82 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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