| 发明名称 |
Multiple lens assembly and charged particle beam device comprising the same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1679734(B1) |
申请公布日期 |
2010.04.07 |
| 申请号 |
EP20040031042 |
申请日期 |
2004.12.30 |
| 申请人 |
ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERPRUEFTECHNIK MBH |
发明人 |
ADAMEC, PAVEL |
| 分类号 |
H01J37/28;H01J37/12;H01J37/14 |
主分类号 |
H01J37/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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