发明名称 Apparatus for controlling vapour deposition in a vacuum
摘要
申请公布号 GB1073293(A) 申请公布日期 1967.06.21
申请号 GB19630040882 申请日期 1963.10.16
申请人 EDWARDS HIGH VACUUM INTERNATIONAL LIMITED 发明人 BATH HUGH HENRY ANTHONY;STECKELMACHER WALTER;ENGLISH JAMES
分类号 C23C14/54;G05D5/03 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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