带有自检测功能的电容式闭环加速度计接口电路

摘要

本发明涉及一种带有自检测功能的电容式闭环加速度计接口电路。该电容式微加速度计采用敏感结构和接口电路两片式混合封装。整体电路由数字部分和模拟部分组成，该电路能够实现加速度计的自检测功能。数字部分用于产生模拟电路中开关的控制时序，由振荡器、分频器和组合逻辑组成；模拟部分包括低噪声放大器前端，同向放大器，采样保持部分和PID控制电路。由时序电路产生相应的控制信号完成电路中所有开关的控制。本发明具有电路结构简单，噪声较低，线性度好，抗冲击性和环境适应性强的性能。

主权项

一种带有自检测功能的电容式闭环加速度计接口电路，其特征在于，采用敏感结构和信号处理电路两块芯片混合封装；加速度接口电路主要由时序产生电路、电荷放大电路、同相放大器、单位增益缓冲器和自检测电路组成；所述的闭环加速度接口电路电荷放大器通过开关于敏感结构的检测电容相连接，电荷放大器输出与同相放大器的输入相连接，同相放大器的输出与相关双采样电路的输入相连接，PID闭环反馈控制相连接与相关双采样的输出相连接，同时通过开关与检测电容结构相连接，时序电路产生不同时序，控制电路中的所有开关，完成加速度的闭环结构检测。