OXIDE FILM FORMING METHOD AND OXIDE FILM FORMING APPARATUS,申请号EP20030733427-传众专利搜索

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发明名称	OXIDE FILM FORMING METHOD AND OXIDE FILM FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号	EP1536462(A4)	申请公布日期	2010.04.07
申请号	EP20030733427	申请日期	2003.06.13
申请人	SEKISUI CHEMICAL CO., LTD.	发明人	EGUCHI, YUJI;NAKAJIMA, SETSUO;ITO, TAKUMI;KAWASAKI, SHINICHI
分类号	C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;C23C16/515;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/31;C23C16/42;H05H1/42	主分类号	C23C16/40
代理机构		代理人
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