用于转换激光束的装置和激光加工装置

摘要

提供用于选择性地引导输入激光束至第一输出激光束和/或至第二输出激光束的装置，包括射束分裂元件，用于空间地分裂输入激光束为第一部分束和第二部分束；射束叠加元件，用于空间地和相干地叠加两个部分束，并转换两个部分束为第一输出激光束和/或第二输出激光束。两个输出激光束的强度取决于射束叠加元件处两个部分束之间的相对相位迁移。该装置还包括光学执行器，其被设置在第一部分束中并被调整，使得第一部分束的光学路径长度可在射束分裂元件和射束叠加元件之间变化。还提供一种用于加工工件的激光加工装置，包括用于生成输入激光束的激光光源；上述装置；设置在第一输出光程上的第一偏转单元；以及设置在第二输出光程中的第二偏转单元。

主权项

一种用于选择性地将输入激光束(110)引导为第一输出激光束(140a)和/或第二输出激光束(140b)的装置，包括：射束分裂元件(115)，用于空间地将输入激光束(110)分裂为第一部分束(120a)和第二部分束(120b)，射束叠加元件(135)，用于空间地叠加所述两个部分束(120a，120b)，以及将所述两个部分束(120a，120b)转化为所述第一输出激光束(140a)和/或所述第二输出激光束(140b)，其中所述两个输出激光束(140a，140b)的强度取决于所述射束叠加元件(135)处所述两个部分束(120a，120b)之间的相对相位偏移，以及光学执行器(170)，其被设置在所述第一部分束(120a)中，并被这样调整，使得所述第一部分束(120a)在所述射束分裂元件(115)和所述射束叠加元件(135)之间的光学路径长度可变。