| 摘要 |
<p>Systém s korpuskulárním zárením je proveden se zdrojem (1) cástic, se zrcadlovým korektorem a objektivem (16). Zrcadlový korektor obsahuje elektrostatické zrcadlo (9) a v dráze paprsku mezi zdrojem (1) cástic a elektrostatickým zrcadlem (9), jakož i mezi elektrostatickým zrcadlem (9) a objektivem (16), magnetický vychylovac (21, 22, 23, 24, 25) paprsku. Magnetický vychylovac (21, 22, 23, 24, 25) paprsku je pro vždy jednoduchý pruchod bezdisperzní. Magnetický vychylovac (21, 22, 23, 24, 25) paprsku obsahuje ctyrpóly a/nebo ctyrpólové komponenty, které jsou urceny tak, aby na celém prubehu dráhy mezi prvním výstupem z magnetického vychylovace (21, 22, 23, 24, 25) paprsku a objektivem (16) vznikly maximálne dve roviny (28, 30) konjugované vzhledem k difrakcní rovine (28) objektivu (16).</p> |
