发明名称 |
软钎焊方法、芯片焊接用软钎料颗粒、芯片焊接软钎料颗粒的制造方法及电子零件 |
摘要 |
为了得到在芯片焊接接合电子零件的半导体元件和基板时,尽管是无铅软钎料的颗粒,但产生的空隙仍然少的颗粒,在软钎焊过热时,在Sn为主成分的无铅软钎料合金的表面形成:无色透明的由30~50原子%的O、5~15原子%的P以及余量实质Sn构成的保护膜;以及由10~30原子%的In、40~60原子%的O、5~15原子%的P以及余量实质Sn构成的保护膜,从而得到该颗粒,其厚度为0.05~1mm,形状与基板大致相同。 |
申请公布号 |
CN1977368B |
申请公布日期 |
2010.04.07 |
申请号 |
CN200580021535.6 |
申请日期 |
2005.05.26 |
申请人 |
千住金属工业株式会社 |
发明人 |
上岛稔 |
分类号 |
H01L21/52(2006.01)I;B23K35/26(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/52(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
李贵亮 |
主权项 |
一种芯片焊接用软钎料颗粒,其接合电子零件的半导体元件和基板,其特征在于,该颗粒是如下一种颗粒,即,在软钎焊加热时,在Sn为主成分的无铅软钎料合金的表面形成有:无色透明的厚度为0.5~20nm,且由10~30原子%的In、40~60原子.%的O、5~15原子%的P以及余量实质Sn构成的保护膜,而且,与接合于基板的半导体元件的形状大致相同。 |
地址 |
日本东京都 |