利用了薄膜晶体管的液晶显示装置及其制造方法

摘要

提供一种利用薄膜晶体管的液晶显示装置及其制造方法，可简化生产工序，且防止源布线和栅布线的布线电阻变大。在绝缘基板(11)上形成的第1透光型感光性树脂(12)的开口部中，形成栅电极(13)和源布线(201’)以及象素接触层(21’)。在它们上面形成栅绝缘膜(14)、半导体层(15)、欧姆接触层(n+半导体层)(16)和保护膜(17)。而且，在第2透光型感光性树脂(12’)的开口部中，形成源电极(19)、漏电极(19’)和象素电极(21)。形成在第2透光型感光性树脂的开口部中的交叉部连接布线，与源布线或者栅布线相同地，是把喷墨涂敷的含有银微粒的墨烧焙而成的烧焙的银。

主权项

一种液晶显示装置，将在绝缘基板上依次形成有栅电极、栅绝缘膜、在上层具有欧姆接触层的半导体层、源电极、漏电极和保护膜的薄膜晶体管配置为矩阵状，并具有：形成有栅电极的栅布线；连接到上述源电极的源布线；以及连接到上述栅布线或者上述源布线的交叉部连接布线，其特征在于：在上述绝缘基板上，在使用光刻掩模形成的透壳型感光性树脂的开口部中，具有利用喷墨法同时形成的上述栅电极、上述源布线和连接到象素电极的象素接触层。