摘要 |
本发明公开了一种基于光栅的滚转角测量方法与装置,属于光电检测技术领域。激光器发出激光直接出射,或经过准直透镜准直后出射;该光线直接入射到一维平面透射光栅,或经过逆向反射器反向入射到光栅;经光栅衍射产生的正负一级衍射光经透镜聚焦成两衍射光点,用光电探测器探测两聚焦光点的位置变化计算获得滚转角的值。本发明光学结构简单紧凑,便于实际操作,精度、稳定性及经济性均能兼顾。采用光栅作为敏感器件,利用衍射双光束差动测量,实现了误差分离,增强了抗干扰能力;使用光学器件少,光源功率低,成本低廉;移动部分可不带电缆;测角分辨率可达0.5”甚至更高,仅需更换不同线数的光栅便可满足不同测量精度的要求。 |