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发明名称 OPTICAL SYSTEM FOR DETECTING ANOMALIES AND/OR FEATURES OF SURFACES
摘要
申请公布号 EP1636573(B1) 申请公布日期 2010.04.07
申请号 EP20040756129 申请日期 2004.06.24
申请人 KLA-TENCOR TECHNOLOGIES CORPORATION 发明人 LEWIS, ISABELLA;VAEZ-IRAVANI, MEHDI
分类号 G01N21/95;G01N21/47;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956 主分类号 G01N21/95
代理机构 代理人
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