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发明名称 BASE PAD POLISHING PAD AND MULTI-LAYER PAD COMPRISING THE SAME
摘要
申请公布号 EP1715980(A4) 申请公布日期 2010.04.07
申请号 EP20050726461 申请日期 2005.02.16
申请人 SKC CO., LTD. 发明人 SONG, EU-GENE;LEE, JU-YEOL;KIM, SUNG-MIN;KIM, JAE-SEOK;LEE, HYUN-WOO
分类号 B24D11/00;B24B37/04;B24D11/02;B24D13/14 主分类号 B24D11/00
代理机构 代理人
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