| 发明名称 |
SYSTEM FOR IMAGING A CROSS-SECTION OF A SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1266392(B1) |
申请公布日期 |
2010.04.07 |
| 申请号 |
EP20010920976 |
申请日期 |
2001.02.14 |
| 申请人 |
FEI COMPANY |
发明人 |
BERGER, STEVE;SCIPIONI, LAWRENCE |
| 分类号 |
G01N23/225;H01J37/305;G01Q30/02;H01J37/30;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N23/225 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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