散热器和具有它的激光器装置以及激光器堆栈装置

摘要

本发明涉及散热器和具有它的激光器装置以及激光器堆栈装置，所述散热器(10a)，具有：第1平板(12)，隔板(14)以及第2平板(16)。第1平板具有形成有第1凹部(22)的上面。第2平板具有形成有第2凹部(30)的下面，以及搭载有半导体激光器元件(2a)的上面。这些凹部成为冷却介质用流路的一部分。隔板具有覆盖第1凹部的下面、覆盖第2凹部的上面、以及使第1凹部连通于第2凹部的一个以上的贯通孔(38)。第1以及第2平板都具有第1热膨胀率。隔极具有比第1热膨胀率小的第2热膨胀率。

主权项

一种冷却发热体的散热器，其特征在于，包括：导电性的第1平板，具有形成有第1凹部的上面；导电性的第2平板，具有形成有第2凹部的下面以及用于搭载所述发热体的上面；导电性的隔板，具有覆盖所述第1凹部的下面、覆盖所述第2凹部的上面、以及使所述第1凹部与所述第2凹部相连通的一个以上的贯通孔；冷却介质流入口，从所述第1以及第2凹部的一方延伸设置，并使冷却介质流入该散热器；冷却介质流出口，从所述第1以及第2凹部的另一方延伸设置，并使冷却介质流出该散热器，其中，所述第1以及第2平板，都具有第1热膨胀率，所述隔板由具有比所述第1热膨胀率小的第2热膨胀率的材料形成。