发明名称 Semiconductor material, production method thereof and semiconductor device
摘要
申请公布号 EP1783250(A3) 申请公布日期 2010.04.07
申请号 EP20060255519 申请日期 2006.10.26
申请人 TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA;JAPAN FINE CERAMICS CENTER 发明人 SEKI, AKINORI;TANI, YUKARI;SHIBATA, NORIYOSHI
分类号 C30B25/02;C30B29/36;H01L21/205;H01L29/161 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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