发明名称 感光性树脂转印装置以及方法
摘要 一种感光性树脂转印装置,其中感光材料供给单元由第1感光材料供给部(16a)和第2感光材料供给部(16b)构成。各感光材料供给部(16a、16b)由控制器(56)独立控制,层压了感光层的感光材料(17a、17b)分别安装在各感光材料安装轴上。各感光材料(17a、17b)的宽度比基板(22)上的转印区域的宽度窄。感光材料(17a、17b)在通过各感光材料供给部(16a、16b)的张力调节机构(43、44)保持一定张力的状态下,被并列提供于层压滚筒对(29)之间。根据本发明,在可控制装置的改造费用的同时,在不损害感光材料的操作性的条件下,能够将感光性树脂转印在整个宽幅的基板上。
申请公布号 CN1542549B 申请公布日期 2010.04.07
申请号 CN200410035308.6 申请日期 2004.04.15
申请人 富士胶片株式会社 发明人 长手弘;末原和芳
分类号 G03F7/004(2006.01)I;G03F7/18(2006.01)I 主分类号 G03F7/004(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 李香兰
主权项 一种感光性树脂转印装置,是向配置有热压接滚筒的输送线提供在支持体上层压有感光性树脂层的感光材料和基板,并利用所述热压接滚筒将所述感光性树脂层转印在所述基板的转印区域上的感光性树脂转印装置,其特征在于,具有并列提供两张宽度比所述转印区域更窄的感光材料的感光材料供给单元;其中,所述感光材料供给单元由从将长的感光材料卷绕成卷状而成的感光材料卷中拉出感光材料的一端而提供给输送线的两个感光材料供给部构成,且在这些各感光材料供给部中,设置有独立地调节各感光材料的张力的张力调节机构;并且对于所述每张感光材料,所述感光材料供给部具有以下机构:根据所述基板的长度而在支持体上的感光层上引入断开记号的切割机构、和剥离被设置在所述感光性树脂层的上层的覆盖膜的覆盖膜剥离机构;所述感光性树脂转印装置还包括薄膜位置控制装置,从而使所述并列提供的两张感光材料之间保持一定间隔。
地址 日本东京都