光阻涂布方法及其光阻涂布设备

摘要

本发明公开了一种光阻涂布设备，包括一光阻涂布装置、一清洁装置以及一平台。基板置放于平台之上。当涂布光阻时，清洁装置先清除基板表面的微粒，接着，光阻涂布装置将光阻均匀喷洒于基板的表面。

主权项

一种光阻涂布设备，用以对一基板涂布一光阻，包括：一平台，用以置放该基板；一清洁装置，在该平台上方移动，以真空吸力清除多个微粒；以及光阻涂布装置，对该基板喷洒该光阻，其中，该清洁装置包括一吹气单元以及一吸气单元，该吹气单元朝该基板吹出一气体，以使所述多个微粒脱离该基板，该吸气单元以真空吸力清除该基板表面的所述多个微粒，其中，该吹气单元包括一吹气口，该吹气口为一狭缝，其中，该吹气口的宽度约为1～2毫米。