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发明名称 Vapor deposition apparatus
摘要
申请公布号 US3336898(A) 申请公布日期 1967.08.22
申请号 US19620238165 申请日期 1962.11.16
申请人 BURROUGHS CORPORATION 发明人 SIMMONS JOHN G.;JR. DOUGLAS E. MOISTER,;JR. DAVID A. STARR,
分类号 C23C14/04;C23C14/22 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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