发明名称
摘要
申请公布号 JP2010510667(A) 申请公布日期 2010.04.02
申请号 JP20090537287 申请日期 2007.11.09
申请人 发明人
分类号 H01L21/8242;H01L21/3065;H01L27/108 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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