微小元件检测装置

摘要

本创作系有关于一种微小元件检测装置，主要系设有两组相对应且具有一传输、一接收状态的光束检测模组，以利用检测模组之光束对应侦测微小元件，其中系于两检测模组之区间设有一检知器，于检知器中设有小于光束直径的导槽道，来对应供检测模组之光束通过，以增加导槽道内所布设之光束面积；藉此，让检测微小元件之准确率提高，以达到精确检测的功效者。

主权项

一种微小元件检测装置，主要系设有至少两组具有光束传输器与相对应之光束接收器的检测模组，以利用检测模组之光束传输与接收的流通区域，供微小元件通过而进行侦测者，其中：系于流通区域间设有一检知器，而该检知器由一上座体对应一底座而成，于上座体设有供微小元件通过的入槽孔，而底座端面对应检测模组之光束而设有小于光束直径的导槽道，而对应上座体入槽孔处则设有通槽孔者。