| 主权项 |
一种超导元件制程装置整合设备，包括：一第一制程装置，其系可对该超导元件做测漏检测，该第一制程装置包括一第一真空泵浦、一第一真空阀及一第一感测元件，该第一真空泵浦及该第一真空阀系连接该超导元件之一注料管，配合该第一感测元件对该超导元件做内部真空度测漏检测；一第二制程装置，其系设置于该第一制程装置之一侧，并可对做完测漏检测之该超导元件做抽真空、除气及封口动作，该第二制程装置包括：一第二真空泵浦，其系连接该超导元件，并可对该超导元件进行抽真空；一第二真空阀，其系连接该超导元件，并可对该超导元件进行除气；一第二感测元件，其系与该第二真空阀与该第二真空泵浦连接，并可检测该超导元件之真空度；一位移机构，其系可带动该超导元件上下位移；以及一封口装置，其系可横向位移，并将该注料管封口，以保持该超导元件内部之真空度；以及一第三制程装置，其系设置于该第二制程装置之一侧，并可对做完封口动作之该超导元件做剪断及焊接之动作，该第三制程装置具有一剪断装置及一焊接装置。 |
