基板清洁装置以及其所属之基板清洁系统

摘要

一种供制造基板时所使用之基板清洁装置及使用此基板清洁装置之基板清洁系统。基板清洁装置包含连接件以及磁吸清洁件。连接件有贯穿孔以及与贯穿孔相连之开口，磁吸清洁件由贯穿孔穿设于连接件，且磁吸清洁件之部分暴露于连接件的开口。基板清洁系统包含基板清洁装置以及基板承载装置。基板承载装置其上承载玻璃基板。基板清洁装置位于基板承载装置上方，且基板清洁装置之开口朝下面对基板承载装置，如此，暴露于开口之磁吸清洁件之部分可面对基板承载装置上所承载之玻璃基板，而对其上之金属粒子进行吸附。

主权项

一种基板清洁装置，包括：一连接件，其上形成一贯穿孔以及一开口，该贯穿孔贯穿于该连接件，且该开口位于该贯穿孔之径向上，并与该贯穿孔相连通；以及一磁吸清洁件，穿设于该贯穿孔之中，且该磁吸清洁件之至少部份暴露于该开口。