具内藏式冷却流道靶材背板及其制造方法

摘要

本发明揭示一种具内藏式冷却流道靶材背板及其制造方法，系组合一盖板及一本体后施予摩擦焊接，包含：提供表面由第一沟槽及第二沟槽组成阶梯凹槽之本体，第一沟槽具有一本体嵌合结构，将一盖板组合于本体之第一沟槽内，盖板形状系匹配第一沟槽，且盖板设有一盖板嵌合结构对应本体嵌合结构，以使盖板与本体互相嵌合，且嵌合后第二沟槽形成一内藏式流道，盖板外围与本体间形成一组合接缝，并以机械扣合方式固定盖板与本体，续再以摩擦搅拌焊接组合接缝予以密封焊接，最后加工至最终尺寸，使形成具内藏式中空通道之板状结构物。

主权项

一种具内藏式冷却流道靶材背板，包含：一本体，该本体表面形成至少一阶梯凹槽，该阶梯凹槽系由一第一沟槽及一第二沟槽所组成，且该第一沟槽上具有一本体嵌合结构；以及一盖板，其形状相同于该第一沟槽，该盖板组设于该阶梯凹槽之该第一沟槽内，并与该第二沟槽形成内藏式冷却流道，该盖板设有一盖板嵌合结构且卡合于该本体嵌合结构，该盖板与该本体藉由摩擦搅拌该组合接缝使彼此接合。