构成气动微帮浦内凸角与斜面的补偿方法

摘要

本发明系有关于一种气动微帮浦之光罩结构，其包含一驱动气体喷嘴图案、一驱动气体导入口图案、第一帮浦流体吸入口图案、一第二帮浦流体吸入口图案、一第一牵引流道图案、一第二牵引流道图案与一渐扩排放流道图案；并藉由设置一第一补偿图案、一第二补偿图案、一第三补偿图案、一第四补偿图案与一第五补偿图案，以形成气动微帮浦结构，以设置简单的补偿图案之方式，避免流道于非等向性蚀刻时受损变形，如此可使本发明之生产成本降低，更增加本发明之使用效率。

主权项

一种气动微帮浦之光罩结构，其包含：一驱动气体喷嘴图案，其系设于一矽晶圆片；该驱动气体喷嘴图案具有一入口与一出口，该入口之两侧分别设有一第一补偿图案，该出口设有一第二补偿图案；一驱动气体导入口图案，其系设于该矽晶圆片并与该入口相连接；一第一帮浦流体吸入口图案，其系设于该驱动气体喷嘴图案之第一侧；一第二帮浦流体吸入口图案，其系设于该驱动气体喷嘴图案之第二侧；一第一牵引流道图案，其第一端连接该第一帮浦流体吸入口图案，其第二端连接该驱动气体喷嘴图案之第一侧，该第一牵引流道图案之第二端之一侧设有一第三补偿图案；一第二牵引流道图案，其第一端连接该第二帮浦流体吸入口图案，其第二端连接该驱动气体喷嘴图案之第二侧，该第二牵引流道图案之第二端之一侧设有一第四补偿图案；以及一渐扩排放流道图案，其第一端与该出口相连接，且该渐扩排放流道图案之第一端与该第一牵引流道图案及该第二牵引流道图案之第二端相连接并导通，该第一端之两侧分别设有一第五补偿图案；其中，该第五补偿图案与该第三补偿图案相邻及该第四补偿图案相邻。