用于测试操作器之测试盘

摘要

本发明系有关于用于测试操作器之测试盘。根据本发明，提供一种技术，使一装载于一以矩阵图案配置于该测试盘之框架中的装载部件内之镶块的自由移动量及方向可以依据装载该镶块之该装载部件在该矩阵上的位置决定，进而使该媒合板或该测试盘之热膨胀或收缩可以获得补偿。

主权项

一种用于测试操作器之测试盘，包括：一框架，具有复数个以矩阵图案配置之装载部件；至少一镶块，装载于该框架之各该装载部件中；以及一结合单元，用以将该镶块维持于该装载部件中以在该框架之一平面上自由移动、限制该镶块之自由移动的最大量及方向、并允许依据装载该镶块之该装载部件在该矩阵上的位置决定该镶块之自由移动的最大量及方向。