用于产生气体电浆之方法与装置、用于产生电浆之气体组成物以及使用气体组成物来制造半导体元件之方法（二）

摘要

一种用于产生电浆的方法与装置，和一种用于使用该电浆制造半导体元件的方法与装置。一气体沿着与该主要磁场的磁力线具相同位移量之流动路径而流动，同时高频交流电被施加至该气体，从而产生一气体电浆。将该气体电浆馈入一加工腔体内，以进行用于制造半导体元件的程序。

主权项

一种用于产生电浆的方法，其包含：提供一导电管；形成一具有一轴的磁场；允许该磁场中的气体沿着一实质垂直于该轴的第一方向流过该管；及通过该管传导电力，以诱导出一通过该气体且沿着一不同于该第一方向之第二方向的电场，以便由该气体产生电浆。