| 发明名称 |
Verfahren zur Fokuskorrektur eines Belichtungsgeräts bei der lithographischen Projektion und Verfahren zur Auswertung von Messergebnissen eines Messgeräts für die Fokuskorrektur eines Belichtungsgeräts in einer Halbleiterfertigungsanlage |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE102005009554(B4) |
申请公布日期 |
2010.04.01 |
| 申请号 |
DE200510009554 |
申请日期 |
2005.03.02 |
| 申请人 |
QIMONDA AG |
发明人 |
WUNNICKE, ODO;FRIEDRICH, MICHAEL |
| 分类号 |
G03F7/207;G03F1/14;G03F9/02 |
主分类号 |
G03F7/207 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
