发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES HYBRIDSUBSTRATS
摘要
申请公布号 DE602007004879(D1) 申请公布日期 2010.04.01
申请号 DE20076004879T 申请日期 2007.11.28
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 MORICEAU, HUBERT;SARTORI, SYLVIE;CHARVET, ANNE-MARIE
分类号 H01L21/3105;H01L21/762 主分类号 H01L21/3105
代理机构 代理人
主权项
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