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发明名称 Rasterelektronenmikroskop
摘要
申请公布号 DE69638126(D1) 申请公布日期 2010.04.01
申请号 DE19966038126 申请日期 1996.10.15
申请人 HITACHI LTD. 发明人 TODOKORO, HIDEO;EZUMI, MAKOTO
分类号 H01J37/28;H01J37/244;H01J37/256;H01J37/285 主分类号 H01J37/28
代理机构 代理人
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