VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER ODER MEHRERER EINKRISTALLINER SCHICHTEN MIT JEWEILS UNTERSCHIEDLICHER GITTERSTRUKTUR IN EINER EBENE EINER SCHICHTENFOLGE,申请号DE20035012420-传众专利搜索

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发明名称	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER ODER MEHRERER EINKRISTALLINER SCHICHTEN MIT JEWEILS UNTERSCHIEDLICHER GITTERSTRUKTUR IN EINER EBENE EINER SCHICHTENFOLGE
摘要
申请公布号	DE50312420(D1)	申请公布日期	2010.04.01
申请号	DE20035012420	申请日期	2003.04.22
申请人	FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH	发明人	MANTL, SIEGFRIED;HOLLAENDER, BERNHARD;ZHAO, QUING-TAI
分类号	H01L21/20;H01L21/329;H01L21/331;H01L21/335;H01L21/337;H01L21/8238	主分类号	H01L21/20
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