| 摘要 |
<p>Ein erfindungsgemäßes Verfahren zum Herstellen eines mikromechanischen Bauelements (300) umfasst ein Bereitstellen eines ersten Substrats (100), ein Ausbilden einer Mikrostruktur (150) auf dem ersten Substrat (100), wobei die Mikrostruktur (150) ein bewegliches Funktionselement (151) aufweist, ein Bereitstellen eines zweiten Substrats (200) und ein Ausbilden einer Elektrode (251) in dem zweiten Substrat (200) zum kapazitiven Erfassen einer Auslenkung des Funktionselements (151). Das Verfahren umfasst weiter ein Verbinden des ersten und des zweiten Substrats (100; 200), wobei ein abgeschlossener Hohlraum gebildet wird, welcher das Funktionselement (151) umschließt, und wobei die Elektrode (251) an den Hohlraum in einem Bereich des Funktionselements (151) angrenzt.</p> |
