METHOD FOR PRODUCING A TUBULAR SEMIFINISHED PRODUCT FROM QUARTZ GLASS, METHOD FOR PRODUCING AN OPTICAL COMPONENT USING THE SEMIFINISHED PRODUCT, AND SEMIFINISHED PRODUCT CONSISTING OF QUARTZ GLASS DOPED WITH FLUORINE

摘要

Um ein allgemein bekanntes Verfahren zur Herstellung von fluordotiertem Quarzglas, bei dem mittels eines Plasma-Abscheideprozesses SiO2 -Partikel in Gegenwart von Fluor gebildet und schichtweise auf einem Aussenmantel eines um seine Längsachse rotierenden, zylinderförmigen Substratkörpers aus Quarzglas abgeschieden und zu einer Schicht aus Quarzglas mit einem Fluorgehalt von mindestens 1,5 Gew.-% verglast werden, dahingehend zu verbessern, dass ein Halbzeug aus Quarzglas mit hohem Fluorgehalt erhalten wird, das sich durch eine hohe Grundtransmission im UV-Wellenlängenbereich auszeichnet, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass der Substratkörper mindestens im Bereich des Aussenmantels eine Reservoirschicht aus Quarzglas aufweist, das einen Hydroxylgruppengehalt von 200 Gew.-ppm oder mehr und/oder einen Wasserstoffgehalt von 1 x 1017 Molekülen/cm3 oder mehr aufweist, und dass der Substratkörper nach dem Abscheiden der mit Fluor dotierten Quarzglasschicht entweder vollständig oder teilweise entfernt wird.