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发明名称 Kontaktstruktur
摘要
申请公布号 DE69739773(D1) 申请公布日期 2010.04.01
申请号 DE19976039773 申请日期 1997.05.15
申请人 FORMFACTOR INC. 发明人 KHANDROS, IGOR Y.;PEDERSEN, DAVID V.
分类号 H01L21/48;G01R1/073;H01L21/60;H05K1/18;H05K3/34 主分类号 H01L21/48
代理机构 代理人
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