| 摘要 |
<p>Ein Vakuumventil umfasst eine Wand (1) mit einer Ventilöffnung (2), die von einem Ventilsitz (4) umgeben ist, mindestens eine in einem Vakuumbereich des Vakuumventils angeordnete Ventilplatte (5), die von einer Offenstellung in eine Längsrichtung (6) in eine Zwischenstellung, und von ihrer Zwischenstellung in eine rechtwinkelig zur Längsrichtung (6) stehende Querrichtung (7) in eine Schließstellung verstellbar ist, mindestens eine die Ventilplatte (5) tragende Ventilstange (12), die aus dem Vakuumbereich des Vakuumventils herausgeführt ist und gegenüber der Wand (1) in die Längsrichtung (6), die parallel zur Längsachse (14) der Ventilstange (12) liegt, sowie in die Querrichtung (7) verschiebbar ist und außerhalb des Vakuumbereichs des Vakuumventils angeordnete Längs- und QuerAntriebseinrichtungen (15, 15', 16, 16'), von denen die Ventilstange (12) zur Verstellung der Ventilplatte (5) in die Längsrichtung (6) und in die Querrichtung (7) verschiebbar ist. Eine außerhalb des Vakuumbereichs des Vakuumventils liegende, starr mit der Wand (1) verbundene Lagereinheit (17, 17') ist vorhanden, von der eine die Ventilstange (12) in die Längsrichtung (6) verschiebbar führende Führungseinheit (20, 20') in die Querrichtung (7) verschiebbar geführt ist.</p> |
