摘要 |
Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Sensor mit mindestens einem beweglich gelagerten Messelement, welches mindestens einer ortsfest angeordneten Elektrode gegenübersteht, wobei die Elektrode in einer ersten Ebene angeordnet ist und von mindestens einer Leiterbahn kontaktiert wird, welche in einer zweiten Ebene angeordnet ist, wobei sich zwischen der ersten Ebene und der zweiten Ebene eine dritte Ebene befindet, welche ein elektrisch leitfähiges Material umfasst.
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