发明名称 Mikromechanischer Sensor
摘要 Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Sensor mit mindestens einem beweglich gelagerten Messelement, welches mindestens einer ortsfest angeordneten Elektrode gegenübersteht, wobei die Elektrode in einer ersten Ebene angeordnet ist und von mindestens einer Leiterbahn kontaktiert wird, welche in einer zweiten Ebene angeordnet ist, wobei sich zwischen der ersten Ebene und der zweiten Ebene eine dritte Ebene befindet, welche ein elektrisch leitfähiges Material umfasst.
申请公布号 DE102008042351(A1) 申请公布日期 2010.04.01
申请号 DE200810042351 申请日期 2008.09.25
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 MEISEL, DANIEL CHRISTOPH;HAUER, JOERG
分类号 B81B3/00;G01C19/56;G01P15/08 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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