发明名称
摘要
申请公布号 JP4443404(B2) 申请公布日期 2010.03.31
申请号 JP20040510292 申请日期 2003.05.30
申请人 发明人
分类号 H02M9/06;C23C14/34;H01J37/34;H02M3/28;H02M3/337;H05H1/46 主分类号 H02M9/06
代理机构 代理人
主权项
地址